美国派克UHP 隔膜阀930系列技术参数：

派克930系列1-1 / 8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒发生，非常适用于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中*的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命。930系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™ 316L不锈钢材质。 Vericlean™ 是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮树脂（PEEK®）和聚酰亚胺（Vespel®）材质的阀座，可使930阀门与多种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点，给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选，包括930Y系列（Y型阀）和SM930系列（面板安装）。

930系列阀门上内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以适应在苛刻的UHP应用中，保有其性能和稳定性。

市场：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点与优势：
• 电抛光表面光洁度：5微英寸（Ra）
• 高循环使用寿命（包括耐腐蚀服务）
• 内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig
• 内部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动，额定压力为75 psig

应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱（VMB）