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日本富士
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日本富士FUJI超声波浓度计*超声波在液体中非常易于传播。超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响。
实时信号输出，可以用于在线过程控制
可以和显示器，记录仪，电脑连接。
同时也不会对溶液造成污染，易于维护。
日本富士FUJI超声波浓度计*
超声波液体浓度计 单成分用
半导体制造程序选件
FUD-1 Model-12/1006
测量原理
超声波在液体中非常易于传播。
超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响。
「浓度变化」→ 「密度变化」→「音速变化」
本产品利用超声波的特性，高精度的测量溶液的浓度。
测量「溶液的温度」+「超声波的速度」→通过CPU演算处理→浓度显示
構成図
FUD-1 Model-12
用途
CMP泥浆浓度或者CMP泥浆浓度中的H2O2的浓度测量
洗净液浓度测量（（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等）
稀释装置浓度测量（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等）
蚀刻过程中的浓度测量（HF、H2SO4 等）
特长
可根据检量线的交换测量各种半导体药液的浓度。
发信器小型、轻量，可直接在线装置。
免保养设计。
接液部分全部采用（PFA)材料。
小型输出设计，对药液没有影响。
主要参数
形号
FUD-1 Model-12／Model-1006
测定参数
超声波传播速度、温度
表示
LCD（浓度、温度、音速/各种参数）
输出信号
模拟 DC4～20mA（可对应浓度值自由设定）
数字 RS232C（浓度、温度、音速。错误代码）
警报 上?上上?下?下下限 测量异常
电源
AC100V～240V 50/60Hz
构造
配电盘支架型（DIN规格基准）?盘内设置型（根据选件可做防雨型）
周边温度
0～50℃ RH85%以下（不结冰时）
0～100℃ 特别规格 -10～160℃（100℃幅）
功能
输出范围设定、输出警报设定、浓度表示移动平均、浓度表示偏移数据以及增值设定功能、自我诊断功能、安全装置功能、取消异常值
选件
温度输出（DC4～20mA）
波道
大10ch
适合发信器
Model-12：SA-20S7／SA-20S9／SA-20M5
Model-1006：SA-20S9
如有需求，请见： 日本富士FUJI超声波浓度计
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